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《自動化與儀表》 2020年08期
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基于SURF算法的MEMS平面微運動測量

趙帆  桑梅  王雙  張瑞峰  劉鐵根  
【摘要】:針對MEMS等微小目標的高頻面內振動的高精度快速檢測的需要,提出了基于SURF算法的特征點匹配測量方法。該方法在利用頻閃微視覺系統采集MEMS周期內頻閃圖像序列的基礎上,使用SURF與RANSAC算法,對序列中相鄰圖像進行特征點的檢測與匹配,再去除匹配結果中的粗大誤差,獲取待測目標的亞像素位移,并轉化為實際的空間距離。試驗結果表明,該方法可以達到100 nm的空間分辨率,實現對MEMS面內振動的高精度快速測量,滿足快速高精度檢測的要求。

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